直线导轨的精度可分为行走平行度、高度的成对相互差及宽度的成对相互差。行走平行度是指将导轨用螺栓固定在基准面上，使滑块在导轨全长上运行时，滑块与导轨基准面之间的平行度误差。高度的成对相互差是指组合在同平面上的各个滑块的高度尺寸的较大值与较小值之差。宽度的成对相互差是指装在单支导轨上的每个滑块与导轨基准面之间的宽度尺寸的较大值与较小值之差。不同的设备可选用不同精度的导轨。